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碳化硼（B4C）靶材

来源：广州昊诺实验室设备有限公司 发布日期：2019-05-07

碳化硼（B4C）靶材

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靶材简介：


      简单的说，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。


靶材参数：

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